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量程0.5 SCCM - 6000 SLPM,优于1%的精度,测量范围广,优于10ms响应时间
ALICAT 62系列便携式气体质量流量计,采用内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度,更方便用于现场多种流量校准和检测场合。
应用及案例
● 环境监测-大气站运维
● 大学/研究所
● 泄漏检测
● 燃料电池
● 计量校准
● 过程工艺气体测量
● 续航时间达 18小时
● 数字化产品
● 主体材质可选铝,更优越的导热性能和便携性
● 多参数显示和输出:温度、压力、流量等
● 可选高精度:可优于0.5%读数
● 可测范围广,0.01~100%满量程
● 响应时间快,优于10ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体(最多5种成分),并存储20种混合气
量程为0.5 SCCM - 6000 SLPM,
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指标升级:
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程(取最大值)
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或± 0.1% 满量程(取最大值)
重复性 ±(0.1% 读数 + 0.02% 满量程)
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃温差
± 0.01%满量程/ Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01%读 数/ ℃温差
± 0.1 %读 数/ Atm压力差
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体,请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体,用户可现场选择
量 程 从0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM(详情请咨询)
测量范围 0.01~100%满量程
最大显示流量 128%满量程
显 示 屏 带按键背光开关,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±(0.8%读数+0.2%满量程) 精度升级部分见左下角
±(0.4%读数+ 0.2%满量程)(可选)
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%读数额外误差
重 复 性 ± (0.2 %读数+0.02 %满量程)
质量流量温度零点和满量程漂移 0.02%满量程/ ℃(从25℃开始)
质量流量压力零点和满量程漂移 ±(0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程)/ Atm(从校准压力开始)
响应时间 优于10 ms(与流量相关)
预热时间 < 1 s
默认标况(STP) 25 ℃&1Atm(其它标况可调)
工作温度 -10 ~ 60 ℃(可选低温选项)
温度精度 ± 0.75℃
充电温度 0~ 45 ℃
工作湿度 0 ~ 95 %,无冷凝
最大工作压力 1MPa表压,进出口最大允许瞬时压差500 KPa
最低操作压力 如果不做真空特殊标定,建议在绝压80KPaA以上使用;
其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ±0.5%读数(读数>1 Atm),或±0.07 PSIA(<1Atm)
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输出信号 RS232
供电电压 5 VDC (Micro - USB - B)
电气接口 Micro-USB-B
泄漏率(外漏) 选择HLC选项,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
续航时间 黑白屏 18小时,彩屏 5小时
材 质 302、303、304、316L不锈钢、FKM、硅橡胶、环氧树脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷 (可选主体铝材质)
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA (可选)
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满量程质量流量计 | 满量程压损1(PSID) 排气到大气中 | 外观尺寸 | 连接接口2 |
0.5 SCCM - 5 SCCM | 1.0 | 5.5''H ×2.4''W ×1.1''D | M-5 (10-32)内螺纹 (Buna-N表面密封至1/8''NPT内螺纹) |
10 SCCM - 50 SCCM | 1.0 | 5.7''H ×2.4''W ×1.1''D | |
100 SCCM - 20 SLPM | 1.0 | 1/8''NPT内螺纹 | |
50 SLPM | 2.0 | 6.0''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/4''NPT内螺纹 |
100 SLPM | 2.5 | ||
250 SLPM | 2.1 | 6.6''H ×4.0''W ×1.6''D | 1/2''NPT内螺纹 |
500 SLPM | 4.0 | 3/4''NPT内螺纹 2000 SLPM可选配1-1/4''NPT内螺纹 | |
1000 SLPM | 6.0 | ||
2000 SLPM | 5.0 | 6.9''H ×5.2''W ×2.9''D | |
3000 SLPM | 7.1 | 6.9''H ×5.2''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT内螺纹 |
5000 SLPM | 3.4 | 7.9''H ×5.2''W ×3.8''D | 2''NPT内螺纹 |
1、见公制图纸; 2、与Beswick®,Swagelok®管,Parker®,表面密封,快接接头和卡套转接头相兼容,也可以按照用户需求与VCR,SAE接头相兼容。 |
见“尺寸压损”。
* 混合气体编码为“800”,选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器,液体指纯水,液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品,可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品,可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品,可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体,也可能被测控,具体请咨询我们。