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工业表面处理
工业用零部件的表面处理都是相当有讲究的。比如：汽车的发动机轴、气缸套筒、高速齿轮等主要性能部件都需要进行表面氮化处理，以提高硬度、耐磨性和疲劳极限。
耐腐蚀质量流量控制器用于金属表面氮化处理
氮化处理是利用氨在一定温度(500～600℃)下所分解的活性氮原子向钢的表面层扩散，而形成铁氮合金，从而改变工件表面的力学性能和物理、化学性质。图为国内某知名氮化炉生产厂家利用ALICAT质量流量控制器控制参与氮化炉内反应的氨气的质量流量。
氨气在400℃以上发生分解反应：2NH3→2N+3H2
分解出的氮原子被工件吸收从而形成氮化层。将被加工工件置于渗氮炉内不锈钢真空密封罐中，通过质量流量控制器精密控制氨气的输入流量，加热到520℃，根据工件要求的氮化层厚度保持适当的时间，通常为10~60小时。整个过程中需要保持稳定的氨气流量并根据氮势的变化迅速调节裂解氨气的流量，由此确保渗氮炉内稳定的气氛及炉压，使得被加工部件表面氮层均匀。
耐腐蚀质量流量控制器同时测量氮化炉多种变量参数
质量流量、体积流量、温度、绝对压力、累计流量(选配)
50毫秒内实现稳定、可重复的流量控制
消除上游压力波动造成的影响
标配98~128种工业常用纯气和混合气体
灵活切换气体、降低质量流量控制器采购成本
标配RS-232数字通讯 + 0~5V模拟通讯
可选配所有工业常用通讯方式：4～20mA, RS485, Modbus, Profibus, DeviceNet, EtherCAT, EtherCAT, LabVIEW
耐腐蚀质量流量控制器标配兼容气体列表
再也不需要模棱两可的系数K
| 纯气 | 生物反应混合气 | 腐蚀性纯气 |
| ? 乙炔 (C2H2) | ? 5% CH4 95% CO2 | *须使用 20S/21S系列设备 |
| ? 空气 | ? 10% CH4 90% CO2 | ? 氨气 (NH3) |
| ? 氩气 (Ar) | ? 15% CH4 85% CO2 | ? 丁烯 (1-Butene) |
| ? 异丁烷 (i-C4H10) | ? 20% CH4 80% CO2 | ? 顺丁烯 (cis-2-Butene) |
| ? 正丁烷 (n-C4H10) | ? 25% CH4 75% CO2 | ? 异丁烯 |
| ? 二氧化碳 (CO2) | ? 30% CH4 70% CO2 | ? 反丁烯 |
| ? 一氧化碳 (CO) | ? 35% CH4 65% CO2 | ? 硫化羰 (COS) |
| ? 氘气 (D2) | ? 40% CH4 60% CO2 | ? 氯气 (Cl2) *仅限用于流量计 |
| ? 乙烷 (C2H6) | ? 45% CH4 55% CO2 | ? 二甲基乙醚 (CH3OCH3) |
| ? 乙烯 (C2H4) | ? 50% CH4 50% CO2 | ? 硫化氢 (H2S) |
| ? 氦气 (He) | ? 55% CH4 45% CO2 | ? 三氟化氮 (NF3) |
| ? 氢气 (H2) | ? 60% CH4 40% CO2 | ? 氧化一氮 (NO) |
| ? 氪气 (Kr) | ? 65% CH4 35% CO2 | ? 丙烯 (C3H6) |
| ? 甲烷 (CH4) | ? 70% CH4 30% CO2 | ? 硅烷 (SiH4) |
| ? 氖气 (Ne) | ? 75% CH4 25% CO2 | ? 二氧化硫 (SO2) *仅限用于流量计 |
| ? 氮气 (N2) | ? 80% CH4 20% CO2 | |
| ? 一氧化二氮 (N2O) | ? 85% CH4 15% CO2 | |
| ? 氧气 (O2) | ? 90% CH4 10% CO2 | |
| ? 丙烷 (C3H8) | ? 95% CH4 5% CO2 | |
| ? 六氟化硫 (SF6) | ||
| ? 氙气 (Xe) | ||
| 呼吸气体 | 燃烧混合气 | 制冷剂 |
| ? EAN-32 (32% O2+68% N2) | ? 煤气 50% H2+35% CH4+10% CO+5% C2H4 | *须使用20S/21S系列设备 |
| ? EAN-36 (36% O2+64% N2) | ? 吸热型气体 75% H2+25% N2 | ? R-11 Trichlorofluoromethane (CCl3F) |
| ? EAN-40 (40% O2+60% N2) | ? HHO 66.67% H2+33.33% O2 | ? R-14 Tetrafluoromethane (CF4) |
| ? EA-40 (40% O2+60% Air) | ? LPG HD-5 96.1% C3H8+1.5% C2H6+0.4% C3H6+1.9% n-C4H10 | ? R-22 Difluoromonochloromethane (CHClF2) |
| ? EA-60 (60% O2+40% Air) | ? LPG HD-10 85% C3H8+10% C3H6+ 5% n-C4H10 | ? R-23 Trifluoromethane (CHF3) |
| ? EA-80 (80% O2+20% Air) | ? 天然气 93% CH4+3% C2H6+1% C3H8+2% N2+1% CO2 | ? R-32 Difluoromethane (CH2F2) |
| ? Heliox-20 (20% O2+80% He) | ? 天然气 95% CH4+3% C2H6+1% N2+ 1% CO2 | ? R-115 Chloropentafluoroethane (C2ClF5) |
| ? Heliox-21 (21% O2+79% He) | ? 天然气 95.2% CH4+2.5% C2H6+0.2% C3H8+0.1% C4H10+1.3% N2+0.7% CO2 | ? R-116 Hexafluoroethane (C2F6) |
| ? Heliox-30 (30% O2+70% He) | ? 合成气体 40% H2+29% CO+20% CO2+11% CH4 | ? R-124 Chlorotetrafluoroethane (C2HClF4) |
| ? Heliox-40 (40% O2+60% He) | ? 合成气体 64% H2+28% CO+1% CO2+7% CH4 | ? R-125 Pentafluoroethane (C2HF5) |
| ? Heliox-50 (50% O2+50% He) | ? 合成气体 70% H2+4% CO+25% CO2+1% CH4 | ? R-134A Tetrafluoroethane (CH2FCF3) |
| ? Heliox-60 (60% O2+40% He) | ? 合成气体 83% H2+14% CO+3% CH4 | ? R-142B Chlorodifluoroethane (CH3CClF2) |
| ? Heliox-80 (80% O2+20% He) | ? R-143A Trifluoroethane (C2H3F3) | |
| ? Heliox-99 (99% O2+1% He) | ? R-152A Difluoroethane (C2H4F2) | |
| ? Metabolic Exhalant (16% O2+78.04% N2+5% CO2+0.96% Ar) | ? RC-318 Octafluorocyclobutane (C4F8) | |
| ? R-404A (44% R-125+4% R-134A+52% R-143A) | ||
| ? R-407C (22% R-32+25% R-125+52% R-134A) | ||
| ? R-410A (50% R-32+50% R-125) | ||
| ? R-507A (50% R-125+50% R-143A) | ||
| 色谱气体 | 氧浓缩器混合气 | |
| ? P-5 (5% CH4+95% Ar) | ? 89% O2+7% N2+4% Ar | |
| ? P-10 (10% CH4+90% Ar) | ? 93% O2+3% N2+4% Ar | |
| ? 95% O2+1% N2+4% Ar | ||
| 焊接气体 | 烟气 | 激光气体 |
| ? C-2 (2% CO2+98% Ar) | ? 2.5% O2+10.8% CO2+85.7% N2+1% Ar | ? 4.5% CO2+13.5% N2+82% He |
| ? C-8 (8% CO2+92% Ar) | ? 2.9% O2+14% CO2+82.1% N2+1% Ar | ? 6% CO2+14% N2+80% He |
| ? C-10 (10% CO2+90% Ar) | ? 3.7% O2+15% CO2+80.3% N2+1% Ar | ? 7% CO2+14% N2+79% He |
| ? C-15 (15% CO2+85% Ar) | ? 7% O2+12% CO2+80% N2+1% Ar | ? 9% CO2+15% N2+76% He |
| ? C-20 (20% CO2+80% Ar) | ? 10% O2+9.5% CO2+79.5% N2+1% Ar | ? 9.4% CO2+19.25% N2+71.35% He |
| ? C-25 (25% CO2+75% Ar) | ? 13% O2+7% CO2+79% N2+1% Ar | ? 9% Ne+91% He |
| ? C-50 (50% CO2+50% Ar) | ||
| ? C-75 (75% CO2+25% Ar) | ||
| ? He-25 (25% He+75% Ar) | ||
| ? He-50 (50% He+50% Ar) | ||
| ? He-75 (75% He+25% Ar) | ||
| ? He-90 (90% He+10% Ar) | ||
| ? A1025 (90% He+7.5% Ar+2.5% CO2) | ||
| ? Stargon CS (90% Ar+8% CO2+2% O2) |
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