ES 气体质量流量计 EFM1500系列

品牌: ES SYSTEMS

EFM1500系列，可在宽动态范围内快速准确地测量气体流量。每个变送器在外壳内集成了MEMS流量传感器和读出电子元件，外壳由形变系数非常小的不锈钢制成。工作压力为11bar。所有测量数据都经过充分校准并进行温度补偿，从而降低了温度系数，提高了测量精度。

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ES 气体质量流量计 EFM500系列

品牌: ES SYSTEMS

可双向检测气体流量，
测量范围是±（20-500 ）SLPM，总误差为读数的1%。
流线型对称设计，高质量塑料制造，即使在双向最大流量下也呈现非常低的压降。
校准气体为空气，也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。

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