ALICAT 气体质量流量控制器 21系列

品牌: ALICAT

量 程0.5 SCCM - 6000 SLPM
响应时间小于30 ms

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ALICAT 低压损气体质量流量控制器 21W系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM
优于1 %的精度
量程可控比宽，0.5~100 %满量程

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ALICAT 气体质量流量控制器-耐腐蚀型 21S系列

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～6000 SLPM
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
量程可控比1%-100%

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ALICAT 高压气体质量流量控制器 21Q系列

品牌: ALICAT

响应式气体流量控制，适用于高压应用

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ALICAT 带集成截止阀气体质量流量控制器 21V系列

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 200：1
内置98种气体，100ms响应时间，优于1%精度

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ALICAT 截止阀质量流量控制器 21VS系列

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 100：1
内置128种气体，100ms快速响应时间，优于1%的精度

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ALICAT 气体质量流量控制器 01系列

品牌: ALICAT

量程100 SCCM ，1000 SCCM，20 SLPM，50 SLPM
热贴片原理，体积小巧精致，适合系统集成
100ms快速响应时间，优于2%精度

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ALICAT 气体质量流量控制器 03系列

品牌: ALICAT

品牌: ALICAT
满量程 100 SCCM - 100 SLPM，优于 1.5%RD 精度

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ALICAT CVD行业专用真空控制器 53系列

品牌: ALICAT

CVD行业专用真空控制器

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ALICAT CVD专用气体质量流量控制器 51系列

品牌: ALICAT

CVD专用气体质量流量控制器
层流差压原理
非抗腐蚀

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