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Product Center
量程0.5 SCCM - 1000 SLPM，优于1 %的精度，测量范围广，优于127ms响应时间
美国ALICAT 20W系列低压降质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
20W系列具有超低压损，满量程压损最低可达480Pa。可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度适用于多种流量测控场合，尤其是要求低压损的应用场合。
应用及案例
● 低温容器检测 ● 大学/研究所
● 泄漏检测 ● 环境监测
● 汽车制造 ● 过程工艺气体测量
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 可选高精度：可优于0.5%
● 可测范围广，0.01~100%满量程
● 满量程超低压损最低为480Pa
● 响应时间快，优于10 ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.03% 满量程 / ℃温差± 0.01% 满量程 / Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃温差± 0.1 % 读数 / Atm压力差
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可测比 0.01%～100%满量程
最大显示流量 128%满量程
显 示 屏 带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ± （0.8%读数 + 0.2%满量程） 精度升级部分见左下角
± （0.4%读数 + 0.2%满量程）（可选）
累计流量精度 流量精度之外额外增加±0.5%读数误差
重 复 性 ±（0.2%读数+0.02%满量程）
质量流量温度零点和满量程漂移 0.03%满量程/ ℃（从25℃开始）
质量流量压力零点和满量程漂移 ±（0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）/ Atm
（从校准压力开始）
响应时间 127 ms（可调）
预热时间 < 1 s
默认标况（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ～ 95 %，无冷凝
最大工作压力 0.3 MPa表压，进出口最大允许瞬时压差70 Kpa
最低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；
其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ±0.75%读数（＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率；模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、
Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模拟输出信号 0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4-20mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压 9-24 VDC（如选4-20 mA或0-10VDC输出，须为12-24VDC）
供电电流 40 mA （+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10VDC）
电气接口 DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 302、303不锈钢、Viton、硅橡胶、环氧树脂、
玻璃增强聚苯硫醚、铝、玻璃、硅、金
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA（可选）
●标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
超低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
RS-232多点式数字输入 (仅用于质量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模拟信号输入可选 (仅用于质量流量控制器)
可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)
内置30种气体可选
200:1 量程可调比
NPT接头
可测量和控制从0.5SCCM到500SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保
●可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
ProfiBUS数字信号输入(仅用于质量流量控制器)
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出 (仅用于质量流量计)
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE接头
VCR、VCO 接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体（最多4种）
定制流量范围
不锈钢阀门 (仅用于质量流量控制器)
高流量低压损阀门 (仅用于质量流量控制器)
集成式电位计控制 (仅用于质量流量控制器)
待更新。
满量程质量流量计 | 满量程压损1（PSID） 排气到大气中 | 外观尺寸 | 过程连接尺寸1 |
0.5 ~ 5 SCCM | 0.07 PSID | 3.897''H x 2.375''W x 1.050''D | M5 内螺纹（10-32兼容）2 |
10 ~ 20 SCCM | 0.07 PSID | ||
50 SCCM ~ 5 SLPM | 0.07 PSID | 4.067''H x 2.375''W x 1.050''D | 1/8'' NPT 内螺纹 |
5 SLPM | 0.07 PSID | 4.167''H x 2.375''W x 1.050''D | |
10 SLPM | 0.08 PSID | 4.207''H x 2.625''W x 1.050''D | 1/4'' NPT 内螺纹 |
20 SLPM | 0.25 PSID | 4.367''H x 4.000''W x 1.600''D | |
40 SLPM | 0.12 PSID | 4.967''H x 4.000''W x 1.600''D | 1/2'' NPT 内螺纹 |
50 SLPM | 0.14 PSID | 3/4'' NPT 内螺纹 | |
100 SLPM | 0.24 PSID | ||
250 SLPM | 0.60 PSID | ||
500 SLPM | 0.39 PSID | 5.287''H x 5.200''W x 2.900''D | |
1000 SLPM | 0.24 PSID | 6.267''H x 5.200''W x 3.840''D | 2'' NPT 内螺纹 |
1、有关可用的进程连接选项，请来电咨询，例如： 压缩、表面密封、推入式连接、BSPP、SAE或Swagelok®（包括管子、VCO和VCR）。 2、与Buna-N O型密封圈一起装箱至1/8“内螺纹NPT接头。 | |||
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
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